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SF6传感器产品描述
| 测量原理 | 带硅微机械的热导传感原理 |
| 测量范围 | H2 : 0-5%, 0-10%, 0-20%, 0-30%, 0-50%, 0-80%, 0-100% He : 0-5%, 0-10%, 0-20%, 0-30%, 0-50%, 0-80%, 0-100% Xe : 0-5%, 0-10%, 0-20%, 0-30%, 0-50%, 0-80%, 0-100%
|
| 机械尺寸 | PCB 160 x 100mm, 高 40mm |
| 重量 | 800g |
| 管径 | 3mm ID |
SF6传感器性能参数
| 反应时间 | 6. . . 45s, 与所使用传感元件, 流量, 管长度, 数字时间量 |
| 精度 | 满量程 2% FS |
| 稳定性 | 满量程 2% FS ( 12个月以上) |
| 重复精度 | 0.2% （零点时）, 1% （样气时） |
| 检测值 | <满量程1% FS |
| 线形误差 | <满量程2% FS |
| 温度特性 | 满量程 1% FS/10O Kelvin （零点）, 2% FS/10O Kelvin （标气） |
| 温控加热器 | 55O C ± 5O C, 选配 |
| 压力特性 | 0% （零点）, < 2% FS/10 mbar （标气）(无压力补偿时) |
| 压力补偿 | < 0.2% FS/10mbar （标气）(补偿到800. . . 1200 mbar), 选配 |
| 状态/故障控制 | 双色LED显示 |
| 状态/故障输出 | 5V HCMOS on 34-Pin 连接器 |
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