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傅里叶变换红外光谱分析仪

简要描述:MG 6030傅里叶变换红外光谱分析仪是以傅里叶变换红外为基础的多气体光谱分析仪。其具有ppb到ppm灵敏度。广泛用于半导体生产工艺控制和监控,气体纯度和组成分析,环境有毒有害气体监视和工业尾气监视。MG 6030傅里叶变换红外光谱分析仪能分析含有高达40%水的气流,能同时分析和显示多达30种气体。

  • 产品型号:MG6030
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-01-18
  • 访  问  量:621

详细介绍

傅里叶变换红外光谱分析仪MG6030

MG 6030傅里叶变换红外光谱分析仪是以傅里叶变换红外为基础的多气体光谱分析仪。其具有ppbppm灵敏度。广泛用于半导体生产工艺控制和监控,气体纯度和组成分析,环境有毒有害气体监视和工业尾气监视。MG 6030傅里叶变换红外光谱分析仪能分析含有高达40%水的气流,能同时分析和显示多达30种气体。分析仪储存了校准光谱,故省出了气体筒的成本。另外,操作者也会发现MG 6030傅里叶变换红外光谱分析仪操作简便,易于维护。

MG 6030傅里叶变换红外光谱分析仪2102傅里叶变换红外制成分光计,高光通量取样单元,专业分析软件及独立的定量光谱库组成。MG 6030收集高分辨率的红外光谱与定量光谱库分析,提供绝大多数气体及水蒸气的高精度,高灵敏度测量。


应用领域:

烟囱监测器

工艺监测改进和优化

空气环境分析

气体纯度分析

燃烧排放监测

选择性硅整流催化还原性能监测

特点和优点:

●10ppb~100%灵敏度对于绝大多数有毒有害气体

●易于移动从一处移到另一处,设置仅需几分钟

●同时分析和显示多达30种气体

●分析仪储存了校准光谱,省去了气体筒的成本

●取样气体在进入分析室前加热并维持恒定温度

●线性检测器,确保所有分析仪维持在相同的校准条件下

●频率和分辨率诊断,确保校准恒定

●提供自动温度和压力补偿以确保分析精度

●用户操作简便软件界面,稍加培训即可操作


分析仪主

MG6030测试技                         傅里叶变换红外光

可测试气体或水蒸气        绝大多数分子除了氮气,氧气和氢气

范围                                浓度从10ppb到100%

傅里叶变换红               2102制成傅里叶变换红

光谱分辨                      0.5 - 128cm-1

扫描速                         每秒5次在0.5cm-1

扫描时                         1 300

红外                            碳化硅在1200℃

参考激                         氦氖(15798.2cm-1)

检测                            液氮冷却MCT或半导体制冷冷却MCT(汞-镉-碲化物

清洁(Purge)压             最大20PSI(1.5bar)

光谱室Purge流            0.2升/分,干燥氮气或露点在-70℃以下无二氧化碳干燥空气

光学系统Purge流         0.2升/分,干燥氮气或露点在-70℃以下无二氧化碳干燥空气

压力传感                     MKS Baratron 电容式薄膜压力传感

Purge连                      Swagelok 快速接

电脑要                        台式或笔记本电脑带Intel奔腾 处理器,微软Wingdows; XP操作系统,1024 X 768显示

通讯                           RJ-45交叉以太

输出选                        XML,模拟,AK,其

                             445mm宽 *318mm高 * 648mm

E:\08-AI设计及物料印刷\17-深圳昂为 产品手册\02第二部分 公司产品目录\12 MKS 产品图片和资料\QQ图片20230606171414.png                              可安装于19英寸标准机

                             110V或220V,50/60hz,3A

                             50公


IR Spectrum of Semiconductor Stack: Sample (white), Calibrations (color). MG 6030 can speciate (differentiate) similar molecules simultaneously.



分析仪采样参

QQ图片20230606171409

采样温                 室温至200℃(取决于校准温度

采样速                 0.2 10升/

采样压                 0.01 4大气压(取决于校准压力

                       镀镍铝,或316不锈钢焊接选

                       Swagelok或VCR

采样压                 1个大气压(取决于校准压力

                       加热不锈

Graphical User Interface for Calibration

                          铝衬底镍板,镀

                       KBr﹔CaF2, ZnSe(其他可选)

“O"型密封        Viton(其他可选)

检测极

5.11米气室,MCT检测器在0.5cm-1分辨率下,下列典型气体检测数据为:

名称

分子式

20/20TM气室,

5分钟检测时间下的检测值

20/20TM气室,

1秒钟检测时间下的检测值

氨气

NH3

30ppb

0.5ppm

二氧化碳

CO2

12ppb

0.2ppm

一氧化碳

CO

72ppb

1.2ppm

甲醛

H2CO

36ppb

0.6ppm

氯化氢

HCl

87ppb

1.5ppm

甲烷

CH4

36ppb

0.6ppm

二氧化氮

NO2

24ppb

0.4ppm

氧化氮

NO

210ppb

3.6ppm

氧化二氮

N2O

30ppb

0.5ppm

四氟化硅

SiF4

10ppb

0.15ppm

二氧化硫

SO2

36ppb

0.6ppm

四氟化碳

CF4

2.5ppb

40ppb

二甲苯磺

C8H10

60ppb

1.0ppm


 

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