当前位置:首页 > 产品中心 > 燃烧与排放气体分析 > 傅里叶变换红外光谱分析仪 > MG6030傅里叶变换红外光谱分析仪
相关文章
Related Articles详细介绍
傅里叶变换红外光谱分析仪,MG6030
MG 6030傅里叶变换红外光谱分析仪是以傅里叶变换红外为基础的多气体光谱分析仪。其具有ppb到ppm灵敏度。广泛用于半导体生产工艺控制和监控,气体纯度和组成分析,环境有毒有害气体监视和工业尾气监视。MG 6030傅里叶变换红外光谱分析仪能分析含有高达40%水的气流,能同时分析和显示多达30种气体。分析仪储存了校准光谱,故省出了气体筒的成本。另外,操作者也会发现MG 6030傅里叶变换红外光谱分析仪操作简便,易于维护。
MG 6030傅里叶变换红外光谱分析仪由2102傅里叶变换红外制成分光计,高光通量取样单元,专业分析软件及独立的定量光谱库组成。MG 6030收集高分辨率的红外光谱与定量光谱库分析,提供绝大多数气体及水蒸气的高精度,高灵敏度测量。
应用领域: ●烟囱监测器 ●工艺监测改进和优化 ●空气环境分析 ●气体纯度分析 ●燃烧排放监测 ●选择性硅整流催化还原性能监测 |
特点和优点:
●10ppb~100%灵敏度对于绝大多数有毒有害气体
●易于移动从一处移到另一处,设置仅需几分钟
●同时分析和显示多达30种气体
●分析仪储存了校准光谱,省去了气体筒的成本
●取样气体在进入分析室前加热并维持恒定温度
●线性检测器,确保所有分析仪维持在相同的校准条件下
●频率和分辨率诊断,确保校准恒定
●提供自动温度和压力补偿以确保分析精度
●用户操作简便软件界面,稍加培训即可操作
分析仪主机
可测试气体或水蒸气 绝大多数分子除了氮气,氧气和氢气
范围 浓度从10ppb到100%
傅里叶变换红外 2102制成傅里叶变换红外
光谱分辨率 0.5 - 128cm-1
扫描速度 每秒5次在0.5cm-1
扫描时间 1 – 300秒
红外源 碳化硅在1200℃
参考激光 氦氖(15798.2cm-1)
检测器 液氮冷却MCT或半导体制冷冷却MCT(汞-镉-碲化物)
清洁(Purge)压力 最大20PSI(1.5bar)
光谱室Purge流量 0.2升/分,干燥氮气或露点在-70℃以下无二氧化碳的干燥空气
光学系统Purge流量 0.2升/分,干燥氮气或露点在-70℃以下无二氧化碳的干燥空气
压力传感器 MKS Baratron 电容式薄膜压力传感器
Purge连接 Swagelok 快速接头
电脑要求 台式或笔记本电脑带Intel奔腾 处理器,微软Wingdows; XP操作系统,1024 X 768显示
通讯口 RJ-45交叉以太网
输出选件 XML,模拟,AK,其他
尺寸 445mm宽 *318mm高 * 648mm深
安装 可安装于19英寸标准机柜
电源 110V或220V,50/60hz,3A
重量 50公斤
IR Spectrum of Semiconductor Stack: Sample (white), Calibrations (color). MG 6030 can speciate (differentiate) similar molecules simultaneously. |
分析仪采样参数
采样温度 室温至200℃(取决于校准温度)
采样速流 0.2 – 10升/分
采样压力 0.01 – 4大气压(取决于校准压力)
结构 镀镍铝,或316不锈钢焊接选件
接头 Swagelok或VCR
采样压力 1个大气压(取决于校准压力)
管道 加热不锈钢
Graphical User Interface for Calibration |
窗口 KBr﹔CaF2, ZnSe(其他可选)
“O"型密封圈 Viton(其他可选)
检测极限
5.11米气室,MCT检测器在0.5cm-1分辨率下,下列典型气体检测数据为:
名称 | 分子式 | 20/20TM气室, 5分钟检测时间下的检测值 | 20/20TM气室, 1秒钟检测时间下的检测值 |
氨气 | NH3 | 30ppb | 0.5ppm |
二氧化碳 | CO2 | 12ppb | 0.2ppm |
一氧化碳 | CO | 72ppb | 1.2ppm |
甲醛 | H2CO | 36ppb | 0.6ppm |
氯化氢 | HCl | 87ppb | 1.5ppm |
甲烷 | CH4 | 36ppb | 0.6ppm |
二氧化氮 | NO2 | 24ppb | 0.4ppm |
氧化氮 | NO | 210ppb | 3.6ppm |
氧化二氮 | N2O | 30ppb | 0.5ppm |
四氟化硅 | SiF4 | 10ppb | 0.15ppm |
二氧化硫 | SO2 | 36ppb | 0.6ppm |
四氟化碳 | CF4 | 2.5ppb | 40ppb |
二甲苯磺 | C8H10 | 60ppb | 1.0ppm |
产品咨询